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摘 要:本实用新型公开了一种半导体生产线用晶片清洗装置,包括清洗箱,所述清洗箱的内部设置有旋转机构,所述旋转机构的下方设置有废液收集机构,所述清洗箱的后侧设置有清洗机构,所述旋转机构包括电机,所述电机固定连接在所述清洗箱的一侧,所述电机的输出端通过联轴器连接有旋转轴,所述旋转轴转动连接在所述清洗箱两内壁之间,所述旋转轴上均匀设置有若干夹具。有益效果在于:设置了旋转机构,通过旋转机构使晶片清洗更加均匀,保证晶片的正反面都能进行清洗;旋转机构上设置了若干夹具,一次性装夹多个晶片,提高清洗效率;夹具上设置了吸盘,通过吸盘使晶片夹紧更加牢固,防止旋转过程晶片脱落。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202222738426.X | 专利名称: | 一种半导体生产线用晶片清洗装置 |
申请日: | 2022-10-18 | 申请/专利权人 | 苏州瑞红集昕科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省苏州市苏州工业园区江浦路50号301室(该地址不得从事零售) |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B08B3/02搜分类 半导体 半导体生产搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2023/01/24 | 授权 |