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| 专利/申请号: | CN201711173265.1 | 专利名称: | 一种高灵敏性无驱动测重式谐振器检测装置 |
| 申请日: | 2017-11-22 | 申请/专利权人 | |
| 专利类型: | 发明 | 地址: | |
| 专利状态: | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号: | B07C5/18 分类检索 |
| 公开/公告日: | 转让价格: | 【平台担保交易】 | |
| 公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 | |
| 浏览量: | 8 | 所属领域: | 传感器技术 精密测量仪器 微机电系统 MEMS 工业自动化控制专利转让搜索 |
应用场景:半导体晶圆制造过程中的质量监控;电子元器件生产线上的微小载荷检测;生物医疗领域中的细胞力学特性分析;材料科学实验中的纳米级质量变化监测
摘 要:本发明公开了一种高灵敏性无驱动测重式谐振器检测装置,包括:水平台和活动板,其中:水平台上设有通槽,通槽侧壁设有限位座,限位座上设有限位槽和压缩弹簧,限位座的下方设有第一电磁体;通槽远离限位座的一侧侧壁内部嵌装有第二电磁体;活动板的一侧设有与其固定装配的转轴,活动板远离转轴的一侧设有由铁磁性材料制作而成的锁紧块;活动板位于通槽内部且其下板面与压缩弹簧固定,且当压缩弹簧的压缩值小于其预设值时,第一电磁体断电,第二电磁体通电;当压缩弹簧的压缩值达到预设值时,第二电磁体断电,第一电磁体通电。本发明反应灵敏,检测效率高,且整个装置无需任何驱动,不仅耗能少。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
| 专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
| 专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
| 解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
| 专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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