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摘 要:本实用新型公开了一种半导体生产加工中废气处理系统,具体涉及废气处理技术领域,包括底座和外架,所述底座顶端的一侧固定连接有抽风机,所述底座顶端的一侧固定连接有除尘室,所述抽风机与除尘室的内部相连通,所述除尘室内部的一侧设置有防堵结构,所述除尘室的内部设置有拆卸结构,所述除尘室的内部竖向设置有第一滤网,所述除尘室的一侧固定连接有输气管。本实用新型通过在除尘室内部的第一滤网在使用一段时间后需要对其进行更换,在除尘室内部设置的拆卸结构中,将除尘室的一端打开后,将外罩利用顶端和底端固定的滑条从安装座内部的滑槽滑出取出后,对外罩内部的第一滤网进行更换,操作简单便捷。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202221839561.7 | 专利名称: | 一种半导体生产加工中废气处理系统 |
申请日: | 2022-07-18 | 申请/专利权人 | 旭矽半导体(上海)有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区祖冲之路1239弄1号3楼TC-313单元 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B01D46/10搜分类 半导体 废气处理 半导体生产搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2023/04/14 | 授权 |