咨询电话:13280638997
传真:0533-3110363
邮箱:kefu@shizifang.com
著 录 项 目:
专利/申请号: | CN201810073299.1 | 专利名称: | 一种电火花线切割单晶硅的放电间隙控制系统及控制方法 |
申请日: | 2018-01-25 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B23H7/02分类检索 硅 港口 单晶专利转让搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 【平台担保交易】 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要:本发明公开的电火花线切割单晶硅的放电间隙控制系统,包括电火花线切割机床和脉冲电源,电火花线切割机床的单晶硅工件和切割线分别连接于脉冲电源的正极和负极上,电火花线切割机床的单晶硅工件进给方向依次设置有步进电机和电机驱动器,电机驱动器通过AD转换器依次连接有数据采集器和计算机,电火花线切割机床的放电回路分别串联有采样电阻,且采样电阻与AD转换器连接,使加工过程中电火花放电间隙保持在合理的范围内,避免开路或者短路的产生,提高了单晶硅工件的表面质量,本发明的的放电间隙控制方法,对于实现单晶硅半导体的电火花线切割加工,获得良好的晶片加工表面质量和加工效率具有重要的意义。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
2023220496682 | 【实用新型】一种线切割用冷却装置 | 2025/07/02 |
2024208471401 | 【实用新型】一种线切割机放线装置 | 2025/06/23 |
2024205149505 | 【实用新型】一种线切割机紧丝装置 | 2025/06/23 |
2024108868285 | 【发明】一种模具加工的中走丝线切割装置 | 2025/08/04 |
2022222870609 | 【实用新型】一种线切割机床用线切割导轮 | 2025/08/14 |
2022222866745 | 【实用新型】一种线切割机床用辅助装置 | 2025/08/14 |
2023215230392 | 【实用新型】一种电火花线切割机床的自动上丝装置 | 2025/06/04 |
202220546822X | 【实用新型】一种数控电火花线切割机床的冷却过滤装置 | 2025/05/30 |
2022205457865 | 【实用新型】一种数控电火花快走丝线切割机床 | 2025/05/30 |
2022205458285 | 【实用新型】一种电火花数控线切割机床的压丝装置 | 2025/05/30 |