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摘 要:本发明公开了紫外感光铌酸锂溶胶的制备方法,以Nb(CH3CH2O)5、CH3COOLi·2H2O、苯酰丙酮、无水乙醇、丙烯酸按一定的摩尔比例制成,随后添加无水乙醇调节至金属总离子浓度为0.3~0.5mol/L,即可得到感光LiNbO3溶胶;本发明还公开了使用紫外感光铌酸锂溶胶制备薄膜微细图形的方法,利用感光LiNbO3溶胶,通过浸渍提拉法在基板上制备凝胶薄膜,随后依次经干燥、曝光、溶洗、热处理,即得LiNbO3薄膜微细图形。本发明采用紫外掩膜板法或激光干涉法直接在凝胶膜光刻,无需其他辅助工艺,即可制备大面积微细图形;浸渍提拉法获得紫外感光LiNbO3凝胶薄膜,薄膜厚度易控制,可获得较大尺寸凝胶膜,制备的LiNbO3微细图形线条光滑,结构规整,薄膜没有污染,性能稳定。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201610595330.9 | 专利名称: | 紫外感光铌酸锂溶胶及其薄膜微细图形的制备方法 |
申请日: | 2016-07-26 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C20/08搜分类 塑料 胶 微 微生物采样 感光搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |