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摘 要:本发明提供一种基于半导体器件制造加工的封装装置,属于半导体加工技术领域,以解决雾化镀层不够均匀,晶圆镀膜后,不能够及时均匀将膜体凝固在晶圆表面,后续包装时易发生晶圆与物料篮子的碰撞,造成晶圆的损伤等问题,包括输送结构;镀层结构,所述镀层结构为矩形结构,镀层结构设置在所述输送结构顶部右端位置,镀层结构包括有:雾化杆,雾化杆为竖直结构,雾化杆喷头为朝向下端设置,通过竖直且朝向下端的雾化杆,增加了直接对所经过晶圆片的喷涂,通过防护壳内的多组雾化杆,增加了对经过的晶圆片喷涂,使喷涂更加均匀,通过将雾化杆之间的位置加设辅热管,有利于对已经喷涂上的防护涂层进行初步的凝结。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202111580897.6 | 专利名称: | 一种基于半导体器件制造加工的封装装置 |
申请日: | 2021-12-22 | 申请/专利权人 | 郯城宏创高科技电子产业园有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 山东省临沂市郯城县李庄镇青山村 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B05B16/20搜分类 半导体 器件搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2022/10/18 | 授权 | |
2022/04/29 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): B05B 16/20 专利申请号: 202111580897.6 申请日: 2021.12.22 |
2022/03/29 | 公开 |