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摘 要:本发明公开了一种芯片在线清洗干燥设备,包括自动进料机构、喷淋式清洗装置、真空干燥设备、定位台。所述真空干燥设备包括机架,机架的中部设置衔接清洗机的一对托住芯片两侧边水平运动的干燥传送带,干燥传送带之间下方的机架上设置由机械动力控制顶托芯片上下运动的推板,推板的正上方设置带有真空吸盘和红外加热管的第一真空室,第一真空室的一侧设置通过连杆机构与第一真空室活动连接的、具有与第一真空室下端匹配的密封结构的第二真空室,第二真空室对应第一真空室设置密封结构的一侧开设有与芯片对应的真空吸附孔。本发明结构简单、设计巧妙,自动拾取芯片进行喷淋式清洗和真空干燥,在真空环境下对芯片进行热力烘干,保护芯片不受损伤。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201210279134.2 | 专利名称: | 芯片在线清洗干燥设备 |
申请日: | 2012-07-26 | 申请/专利权人 | 江阴迪林生物电子技术有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省无锡江阴市砂山路85号B4室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/67搜分类 集成电路 干搜索 |
公开/公告日: | 2014-11-19 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN102820242B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2020/10/23 | 专利权的转移 | 登记生效日: 2020.09.29 专利权人由南京润尼科博生物科技有限公司变更为铜陵太阳岛农业科技有限公司 地址由210000 江苏省南京市秦淮区标营四号紫荆大厦705变更为244000 安徽省铜陵市义安区老洲乡和平村十八组30号 |
2018/06/05 | 专利权的转移 | 登记生效日: 2018.05.16 专利权人由江阴迪林生物电子技术有限公司变更为南京润尼科博生物科技有限公司 地址由214434 江苏省无锡江阴市砂山路85号B4室变更为210000 江苏省南京市秦淮区标营四号紫荆大厦705 |
2014/11/19 | 授权 | |
2013/01/30 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): H01L 21/67 专利申请号: 201210279134.2 申请日: 2012.07.26 |
2012/12/12 | 公开 |