一种半导体晶圆抛光设备

摘     要：本实用新型提供了一种半导体晶圆抛光设备，本实用新型涉及抛光设备技术领域，半导体晶圆抛光设备，包括机台、电动缸和移动板，机台内部中间开有工作腔，工作腔中部上端贯穿出机台，电动缸固定于工作腔内壁底部，移动板底部与电动缸输出端固定连接；工作腔内部设有两组抛光组件，两组抛光组件分别位于移动板左右两侧；本实用新型的有益效果在于：在对半导体晶圆侧面抛光的同时可及时将粘在半导体晶圆侧面的碎屑刮落、扫落，一方面有利于半导体晶圆侧面更清洁，另一方面可避免碎屑的存在而影响半导体晶圆侧面抛光的效果，可自动清理工作腔内的碎屑，无需后期使用者手动清理碎屑，从而体现了该抛光设备的自动化。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2022/09/06	授权