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摘 要:本发明公开了一种制备氮化铝晶体的坩埚设备与方法,坩埚设备包括第一坩埚、第二坩埚及连接管,其中,第一坩埚的内部与第二坩埚的内部通过连接管连通,第一坩埚用于盛放氮化铝源,第二坩埚用于盛放镓源,且连接管在第一坩埚内部的延伸长度大于所述第一坩埚中盛放的氮化铝源的厚度。相较于现有技术而言,本发明第二坩埚内的镓源生成的镓蒸汽可以进入到第一坩埚的反应腔内,由于镓蒸汽能够改变氮化铝晶体的结晶特性,有助于控制氮化铝晶体的成核与扩径生长,因此,在制备氮化铝晶体的过程中,通过向第一坩埚的反应腔内掺杂镓蒸汽,不仅可以有效的降低氮化铝晶体的成核密度,还可以扩大氮化铝晶体的尺寸,从而得到大尺寸的氮化铝体单晶。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201811041982.3 | 专利名称: | 制备氮化铝晶体的坩埚设备及方法 |
申请日: | 2018-09-07 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C30B29/40搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
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日期 | 法律信息 | 备注 |