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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN201810270741.X | 专利名称: | 一种偏压调制的高灵敏光电探测器及其制备方法与应用 |
申请日: | 2018-03-29 | 申请/专利权人 | 深圳大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 广东省深圳市南山区南海大道3688号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L31/102分类检索 探测 光电探测专利转让搜索 |
公开/公告日: | 2019-07-30 | 转让价格: | 面议 【平台担保交易】 |
公开/公告号: | CN108493287B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要:本发明公开了一种偏压调制的高灵敏光电探测器及其制备方法与应用,其中,光电探测器的制备方法,包括:步骤A、在n型硅片的上表面制作绝缘层;步骤B、在所述n型硅片的下表面制作底电极,在所述绝缘层上制作顶电极;步骤C、采用ECR等离子体溅射工艺在掺杂硼元素的SiO2基片上制作石墨烯嵌入式碳膜;步骤D、将所述石墨烯嵌入式碳膜转移至所述顶电极的上表面,并且所述n型硅片和所述顶电极均与所述石墨烯嵌入式碳膜接触。本方法制备的光电探测器能偏压调制费米能级,具有对微弱光线(pW级)的灵敏探测能力;并且本制备方法拥有成本低、易于大面积制造的优点。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2019/07/30 | 授权 | |
2018/09/28 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): H01L 31/102 专利申请号: 201810270741.X 申请日: 2018.03.29 |
2018/09/04 | 公开 |