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24小时咨询热线摘 要：本发明涉及一种使用四探针电阻率测试仪对半导体重掺硅片电阻率分档的方法，该方法包括：得到各个厚度下电阻率档位和读数档位的对应表；用千分表测试半导体重掺硅片的厚度；取出四探针电阻率测试仪并水平放置，接通电源，校准后预热；用四探针电阻率测试仪测试标准半导体重掺硅片样片的电阻率；将待测半导体重掺硅片平置在测试台上，操作四探针电阻率测试仪进行测量；将显示测试读数与各个厚度下电阻率档位和读数档位的对应表相比对。本发明在测试工作中，最终的结果是要对硅片的电阻率进行分档，利用电阻率分档的边界值除以厚度系数获得硅片的测试读数分档。从而在批量的测试过程中，只需简单比对对应厚度下的读数分档即可获得电阻率的分档。
著 录 项：
| 专利/申请号： | CN201010157314.4 | 专利名称： | 对半导体重掺硅片电阻率进行测试并分档的方法 |
| 申请日： | 2010-04-14 | 申请/专利权人 | 高佳太阳能股份有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省无锡市惠山区堰桥街道堰丰路168号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | G01R27/02搜分类 半导体 电阻 硅 港口搜索 |
| 公开/公告日： | 2012-06-20 | 转让价格： | 面议 |
| 公开/公告号： | CN101806837B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2012/06/20 | 授权 | 授权 |
| 2010/10/06 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): G01R 27/02 专利申请号: 201010157314.4 申请日: 2010.04.14 |
| 2010/08/18 | 公布 | 公布 |
