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摘 要:本发明提供了一种传感器结构及其形成方法,该方法包括以下步骤:提供一衬底,在所述衬底内具有多个像素区,接着从所述衬底的所述第二表面对所述衬底进行减薄处理以及形成第一减反射层,接着形成栅格结构,接着在每个所述栅格结构围绕形成的沟槽中交替形成金属网和滤光层,直至形成第N个金属网以及第N个滤光层,其中,N为不小于3的自然数,其中,每个所述滤光层的厚度与所述每个所述金属网的厚度的比值为5-10,所述金属网的孔隙率大于等于80%,接着在所述第N个滤光层上形成第二减反射层,接着在所述第二反射层上形成透镜层。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202010295763.9 | 专利名称: | 一种传感器结构及其形成方法 |
申请日: | 2020-04-15 | 申请/专利权人 | 厦门安明丽光电科技有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 福建省厦门市同安区同安工业集中区思明园同福路4号1栋2层 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L27/146搜分类 传感器搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2022/09/09 | 授权 | |
2022/08/05 | 专利申请权的转移 | 登记生效日: 2022.07.25 申请人由山东砚鼎电子科技有限公司变更为厦门安明丽光电科技有限公司 地址由250000 山东省济南市历城区王舍人街道万象新天四区3号楼A-108号商铺变更为361000 福建省厦门市同安区同安工业集中区思明园同福路4号1栋2层 |
2020/07/31 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): H01L 27/146 专利申请号: 202010295763.9 申请日: 2020.04.15 |
2020/07/07 | 公开 |