一种精确测量曲面上多层微纳米薄膜厚度的方法

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摘     要：一种精确测量曲面上多层微纳米薄膜厚度的方法，所述方法是在一种圆柱形工业传动件上，采用聚焦离子束磨切技术沿垂直薄膜方向切出薄膜的截面，再利用电子显微镜观察薄膜的截面形貌，从而精确测定各层薄膜厚度的方法。该方法工艺步骤简单易控，特别适合测量异形工件的曲面上传统测量方法难以完成的薄膜厚度的测量，能直接在工件上进行测量，且破坏区域小于10μm量级，对工件服役和使用性能的影响可忽略，在精密零部件加工和微机电系统制造等领域有着广泛的应用范围和良好的应用前景。

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2023/01/17	专利权的转移	登记生效日: 2023.01.05 专利权人由梓荟（南京）科技有限公司变更为陕西华塑包装有限公司 地址由210000 江苏省南京市自贸区南京片区浦滨路320号科创总部大厦C座1506室变更为719000 陕西省榆林市高新技术产业园区榆马大道北B1路东
  2021/09/17	专利权的转移	登记生效日: 2021.09.03 专利权人由太原理工大学变更为梓荟（南京）科技有限公司 地址由030024 山西省太原市迎泽西大街79号变更为210000 江苏省南京市自贸区南京片区浦滨路320号科创总部大厦C座1506室
  2020/11/24	授权
  2019/01/15	实质审查的生效	IPC(主分类): G01B 15/02 专利申请号: 201811058838.0 申请日: 2018.09.11