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摘 要:本发明提供了一种垂直磁各向异性增强的Fe基多层薄膜,从内到外依次包括:Si基片、Fe3O4层、FeCo层、第一NdFeB层、第一FePt层、第二NdFeB层、金属Mn层以及第二FePt层,其中,Fe3O4层的厚度为10‑20nm,FeCo层的厚度为15‑25nm,第一NdFeB层的厚度为35‑50nm、第一FePt层的厚度为15‑25nm、第二NdFeB层的厚度为25‑45nm、金属Mn层的厚度为10‑20nm以及第二FePt层的厚度为20‑30nm。由于本发明独特的非对称式层结构,使得本发明的Fe基多层薄具有显著的垂直磁各项异性,同时在膜层厚度进行大幅度变化时,由于铁磁性原子之间的强化耦合的作用,本发明的复合膜层仍然能够保证大的垂直磁各项异性。本发明的复合膜层生产工艺要求宽松,生产效率高,生产成本低。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201810888671.4 | 专利名称: | 垂直磁各向异性增强的Fe基多层薄膜 |
申请日: | 2018-08-07 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01F41/18搜分类 塑料 F搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |