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| 专利/申请号: | CN201810573330.8 | 专利名称: | 一种空心纳米球阵列传感器的制备方法 |
| 申请日: | 2018-06-06 | 申请/专利权人 | |
| 专利类型: | 发明 | 地址: | |
| 专利状态: | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号: | G01N27/26 分类检索 |
| 公开/公告日: | 转让价格: | 【平台担保交易】 | |
| 公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 | |
| 浏览量: | 50 | 所属领域: | 传感器 纳米专利转让搜索 |
摘 要:一种空心纳米球阵列传感器的制备方法,包括如下步骤:(a)衬底基材预处理;(b)光刻蚀法对预处理的硅衬底进行加工;(c)正丙醇中清洗、通氮气干燥;(d)选取Ti作为附着层,Au作为检测电极,采用辉光真空镀膜方法对干燥后的样品进行检测电极沉积;(e)通过剥离技术去除步样品表面残余的光刻胶;(f)制备溶胶溶液,对干燥后的样品衬底进行旋涂制膜;(g)对样品先进行后置热蒸水热处理,然后通氮气保护进行焙烧,制备传感材料与器件一体的气体传感器。本发明把握有害气体分子(SO2)检测技术与应用技术创新的平衡点,实现材料制备与器件集成相统一,提升传感器对SO2的特征识别能力以及对响应信号的快速提取和增强能力。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
| 专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
| 专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
| 解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
| 专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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