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摘 要:本实用新型公开了一种集成电路加工用的真空蒸发设备,涉及集成电路加工技术领域,包括集成电路加工箱、启闭装置和真空蒸发装置主体,所述集成电路加工箱的顶部活动安装有箱盖,所述启闭装置的底面与箱盖的上表面焊接固定,所述真空蒸发装置主体设置在集成电路加工箱的左侧。本实用新型通过引气机和真空蒸发装置主体配合制备蒸汽,再由导气管进行蒸汽的输送,同时利用导流板的异形曲面设计,将导气管中分成不同方向形状的异形喷气仓,将蒸汽不同方向角度的吹向集成电路进行覆膜,避免了多数设备难以进行均匀全面的蒸发覆膜,极大的影响了集成电路的蒸发覆膜效率的问题,提高了真空蒸发设备的利用效率。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202122176277.8 | 专利名称: | 一种集成电路加工用的真空蒸发设备 |
申请日: | 2021-09-09 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C14/24搜分类 电路 集成电路 电路加工 蒸发设备 集成电路加工搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |