发明专利 已授权

一种对比式抗干扰微动角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法

📄 申请号:CN201510289679.5 📄 发布日:2026/08/06

著录项目信息

申请日
2015-05-29
公开号
CN105043244B
公开日
2017-12-05
申请人
润希乐生物科技(扬州)有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

精密计量, 工业检测, 科学研究, 半导体制造, 航空航天

摘要

本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域,特别涉及一种对比式抗干扰微动角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法,所述对比式抗干扰微动角反射镜激光干涉仪,包括有激光源、微动角反射镜、干涉测量光电探测器、移动角反射镜、分光镜组和微动平台,所述微动角反射镜设置在所述微动平台上,还包括有反射测量光电探测器,激光束经所述移动角反射镜反射至所述分光镜组后还形成有反射激光束,所述反射激光束射向所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪,由于反射测量光电探测器可以测量移动角反射镜反射激光束的强度,根据反射激光束的强度确定激光干涉光束的干涉状态,如此实现抗环境干扰的目的。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20231128
?? 专利权的转移 :
20201229
?? 专利权的转移 :
20171205
✅ 授权
20151209
?? 实质审查的生效 :
20151111
📄 公开

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议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:55 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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