咨询电话:13280638997
传真:0533-3110363
邮箱:kefu@shizifang.com
摘 要:本发明公开了一种制备多晶硅的系统,包括SiHCl3合成系统、氯硅烷分离系统和多晶硅制备系统,原料在合成系统反应得氯硅烷混合物,经分离后SiH2Cl2、SiCl4返回合成系统,SiHCl3纯化后进入多晶硅制备系统,多晶硅制备系统包括三氯氢硅还原系统、尾气分离系统和四氯化硅氢化系统,制备多晶硅的尾气经尾气分离后HCl、杂质排残物返回SiHCl3合成系统,H2、SiH2Cl2和SiHCl3返回三氯氢硅还原系统,SiCl4进入四氯化硅氢化系统与H2反应,反应产物返回尾气分离系统。本发明还公开了与该系统对应的多晶硅制备方法。本发明按各种物料纯度分级循环,避免高纯物料与粗品物料混合带来的反复纯化。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201410078276.1 | 专利名称: | 一种利用盐酸和四氯化硅制备多晶硅的系统及方法 |
申请日: | 2014-03-05 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 关键词: | 化学化工 多晶硅 相似专利 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(最新年检需盖公章)与组织机构代码副本复印件(需盖公章)一个专利各一份 | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利协议(需盖公章)一式两份 | 专利协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(最新年检需盖公章)组织机构代码副本复印件(需盖公章)一个专利各一份 | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利协议(需盖公章)一式两份 | 专利协议(需签字)一式两份 | |
专利受理通知书复印件或专利授权通知书复印件 | 专利受理通知书复印件或专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权未下证) | 专利证原件(若授权未下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2017/04/05 | 专利权保全的解除 | 解除日: 2017.02.08 |
2016/08/24 | 授权 | |
2015/09/30 | 专利申请权的转移 | 登记生效日: 2015.09.08 申请人由重庆高策科技发展有限公司变更为重庆海洲化学品有限公司 地址由409899 重庆市酉阳县板溪镇金园大道58号A-658地块变更为401221 重庆(长寿)经济技术开发区齐心大道33号 |
2014/06/25 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): C30B 29/06 专利申请号: 201410078276.1 申请日: 2014.03.05 |
2014/05/28 | 公开 |