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摘 要:一种利用波长作相移获取表面三维形貌的方法。该方法包括:使用两种不同波长的光源分别采集两幅待测物表面形貌的干涉图并求出平均光强I0,使用本发明提出的相位提取算法获得干涉图中(1,1)点的真实相位值,在此基础上,运用迭代算法分别获得干涉图中第一列以及整幅干涉图的真实相位值;根据相位和物体表面高度的关系式从而得到了物体表面的三维形貌。本发明是使用不同波长进行干涉测量得到的干涉图进行计算,求出相位值φ,因此相位不会出现截断,避免了相移器的相移量难以确定的难题,且不需要对相位进行解包裹处理。本发明大大简化了整个测量过程,省去了相移器繁琐的标定及相移过程,不需要使用相移器,使得测量仪器的成本得到大幅的下降。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201010103102.8 | 专利名称: | 利用波长作相移获取表面三维形貌的方法 |
申请日: | 2010-02-01 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01B11/25搜分类 表 三维搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |