发明专利已授权

一种转动拉升式晶圆干燥机

Name: 一种转动拉升式晶圆干燥机
Brand: 兰泽(荆门)智能科技有限公司
SKU: 2019110920794
Price: 14000.0 CNY
Availability: InStock

📄 申请号：CN201911092079.4 📄 发布日：2026/05/28

著录项目信息

申请日

2019-11-11

申请人

兰泽(荆门)智能科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

F26B15_18

IPC 分类号

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备晶圆处理设备干燥设备

应用场景

半导体制造, 晶圆清洗, 集成电路制造, 晶圆加工

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摘要

本发明涉及干燥机技术领域，具体涉及一种转动拉升式晶圆干燥机，包括底座、立板、链轮组件、驱动件以及链条；所述固定机构包括转动臂、转盘以及固定座；所述固定座与链条固定连接；所述立板在链条的顶部设有止转板；所述立板在链条的底部设有旋转导板；所述底座设有水槽；所述水槽内设有喷气机构。本发明通过改变喷口构形，可以方便地对气流参数进行调节，保证干燥效果；通过转盘带动挂具机构在清洗过程中旋转，可以利用挂具机构对水流的搅动作用，提高清洗效果；在晶圆片提拉过程中，伴随挂具机构转动使得挂具机构的周向位置均可被气流覆盖，避免了干燥死角和积水点，提高干燥效果。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20201110

✅ 授权

20200331

?? 实质审查的生效：

20200306

📄 公开

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不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：38 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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