发明专利已授权

一种石墨烯芯片加工专用切片机头

📄 申请号：CN201810411153.3 📄 发布日：2026/05/15

著录项目信息

申请日

2018-05-02

申请人

温州普睿达机械科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C25B1_04

IPC 分类号

C25B1_04 , B28D5_04 , B28D7_02 , C01B32_194 ,

技术画像

所属领域

精密加工设备精密加工设备切割设备半导体加工设备

应用场景

芯片制造, 晶圆切片, 半导体材料加工, 石墨烯器件制造, 电子材料切割

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摘要

本发明公开了一种石墨烯芯片加工专用切片机头,包括底板、机壳和电解槽，所述底板的上侧固定连接有支脚，且支脚的上端通过螺栓连接有机壳，机壳的顶部内壁通过轴承连接有转动轴，机壳的上侧和下侧分别设置有连通环，机壳的外侧焊接有竖直设置的散热管，机壳的上部开设有竖直设置的散热孔，转动轴的上端键连接有蜗轮，底板的上侧焊接有支撑板，该机头在工作时，冷却水能够帮助能量转化机构进行散热，减较少了机头因过热而出现的故障，冷却后，一部分水电解成为氢气和氧气，氢气能够用作切割时的还原气体，避免石墨烯在切割时被氧化，另一部分水能够随氢气喷出，防止氢气因刀头局部温度过高被点燃。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20201113

?? 专利权的转移：

20200403

✅ 授权

20200331

⏳ 专利申请权的转移：

20181026

?? 实质审查的生效：

20180928

📄 公开

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