一种X射线衍射光学聚焦元件的制造方法 

摘     要：本发明公开了一种制备具有高的衍射效率和成像分辨率的X射线衍射光学聚焦元件的制造方法，使用了原子层沉积与聚焦离子束相结合的技术，选用金属钨丝作为X射线衍射光学聚焦元件的中心衬底细丝起到阻挡零级光的作用，并且在原子沉积前使用高能量离子注入机将金属钨细丝进行表面改性增强了与原子沉积薄膜的结合牢固度，给出了原子沉积的优化参数，可以获得较高的沉积速率和可靠的薄膜厚度可控性，从而得到的光学聚焦元件具有高的衍射效率和成像分辨率。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2020/09/18	授权
  2019/07/12	实质审查的生效	IPC(主分类): G21K 1/06 专利申请号: 201910234877.X 申请日: 2019.03.26
  2019/06/18	公开