发明专利已授权

一种深层光固化型固结磨料抛光垫的制备方法

📄 申请号：CN201810265972.1 📄 发布日：2026/07/20

著录项目信息

申请日

2018-03-28

申请人

何治伟

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24D3_34

IPC 分类号

B24D3_34 , B24D3_02 , B24D11_00 , C03C3_095 , C03B19_02 , C03B37_025 , C08F283_10 , C08F220_06 ,

技术画像

所属领域

精密加工精密加工光固化技术抛光材料

应用场景

半导体晶圆抛光, 光学元件加工, 精密表面处理, 电子器件制造

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摘要

本发明涉及一种深层光固化型固结磨料抛光垫的制备方法，属于抛光垫材料技术领域。本发明技术方案制备光纤纤维作为改性材料，将光纤纤维添加至固结磨料抛光垫内部后，由于紫外光照射至固结磨料表面时，光纤纤维有效将光进行传导，通过均匀分散的光纤颗粒，将紫外光有效传递至固结磨料抛光垫固化层的内部，有效从内部对抛光垫材料进行固化，且本发明技术方案通过对抛光垫内部添加鳞片状锌粉颗粒，在抛光垫内部形成各种角度的排布，有效改善光纤颗粒对光反射性能的不足，在固结磨料内部形成紫外光有效反射，从而可以进一步提高固结磨料在深层固化的效果。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20201023

✅ 授权

20201013

⏳ 专利申请权的转移：

20181009

?? 实质审查的生效：

20180911

📄 公开

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：33 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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