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摘 要:一种主动控制工件材料去除机理转变的超精密抛光方法,该方法采用工件抛光盘接触状态调整机构调节紧接触抛光或非接触抛光状态,加工时,装有工件的工件抛光盘接触状态调整机构置于抛光盘上,抛光液从注入口进入所述的抛光盘的加工区域,抛光初始时采用紧接触抛光以保证工件加工形状精度,然后调整工件与抛光盘接触状态,采用非接触抛光去除紧接触抛光的工件表面加工损伤层;所述工件上载荷、所述抛光盘转速、抛光液浓度和抛光液流量可调。本发明能实现基片高精度、少/无损伤超光滑表面加工要求。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201510366852.7 | 专利名称: | 一种主动控制工件材料去除机理转变的超精密抛光方法 |
申请日: | 2015-06-26 | 申请/专利权人 | 浙江工业大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 浙江省杭州市下城区朝晖六区潮王路18号浙江工业大学 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B24B37/10搜分类 精密抛光 主动搜索 |
公开/公告日: | 2015-12-09 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN105127880A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2020/04/28 | 专利权的转移 | 登记生效日: 2020.04.09 专利权人由湖州优研知识产权服务有限公司变更为南京琪胜金属精密材料有限公司 地址由313000 浙江省湖州市南浔区南浔镇朝阳路666号南浔科技创业园一层1020室变更为211599 江苏省南京市六合经济开发区 |
2019/12/13 | 专利权的转移 | 登记生效日: 2019.11.26 专利权人由浙江工业大学变更为浙江品创知识产权服务有限公司 地址由310014 浙江省杭州市下城区朝晖六区潮王路18号浙江工业大学变更为313000 浙江省湖州市吴兴区区府路1188号总部自由港B幢14楼1403室 |
2017/12/05 | 授权 | |
2016/01/06 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): B24B 37/10 专利申请号: 201510366852.7 申请日: 2015.06.26 |
2015/12/09 | 公开 |