实用新型 已授权

一种稳定性强的激光干涉仪光路准直支撑装置

📄 申请号:CN202121804460.1 📄 发布日:2026/10/28

著录项目信息

申请日
2021-08-04
公开号
CN215639266U
公开日
2022-01-25
申请人
武汉固创机械有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

精密测量, 工业检测, 光学仪器制造, 半导体设备, 超精密加工

摘要

本实用新型公开了一种稳定性强的激光干涉仪光路准直支撑装置,包括底座,所述底座的下端固定安装有移动轮,所述底座的上端固定安装有伸缩支撑杆,所述伸缩支撑杆的上端固定安装有顶板,所述顶板上端的中部固定安装有支柱,所述支柱的上端固定安装有转轴,所述转轴的上端固定安装有底板,所述底板的上端固定安装有气囊式减震器,所述气囊式减震器的上端固定安装有固定板,所述固定板的上端固定设置有固定螺孔。该稳定性强的激光干涉仪光路准直支撑装置,利用气囊式减震器可使得在对支撑装置移动的过程中将底部颠簸带来的震动进行过滤,使得上端的激光干涉仪保持平稳状态,避免因震动导致测量异常,有效的提高了测量的稳定性。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN215639266U

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该专利的转让价格是多少?

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (G01B9_02)

议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:19 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 已报项目

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