实用新型已授权

一种半导体制程尾气粉尘清洗装置

Name: 一种半导体制程尾气粉尘清洗装置
Brand: 无锡洁安洁通用设备有限公司
SKU: 2023205942140
Availability: InStock

📄 申请号：CN202320594214.0 📄 发布日：2026/10/20

著录项目信息

申请日

2023-03-23

公开号

CN219784222U

公开日

2023-10-03

申请人

无锡洁安洁通用设备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B01D47_06

IPC 分类号

B01D47_06 , B01D29_35 , B01D29_96 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备尾气处理工业清洗设备

应用场景

半导体制造, 晶圆制造, 尾气治理, 工业除尘, 设备维护

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摘要

本实用新型公开了一种半导体制程尾气粉尘清洗装置，包括水箱、泵体、连接盘和清洗筒，所述水箱顶部的中心位置固定有清洗筒，所述清洗筒内部靠近底部的位置固定有连接件，所述清洗筒内部靠近底部的两侧固定有支撑块，所述支撑块上固定有滑轨，所述滑轨的顶部滑动设置有滑块，所述滑块的顶部通过螺栓固定有滤箱，所述滤箱靠近连接件的底部。本实用新型通过在清洗筒的内部设置有滤箱，当水落入到滤箱中后，水通过滤箱，而灰尘不能通过，灰尘被留在滤箱中，进入防止灰尘随水被喷出，影响吸附效果。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN219784222U

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种稳定性高和便于转运的无功补偿装置柜

当前第 / 件

一种半导体制程尾气处理用洗涤塔

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