实用新型 已授权

一种半导体制程尾气处理用洗涤塔

📄 申请号:CN202320595797.9 📄 发布日:2026/10/20

著录项目信息

申请日
2023-03-23
公开号
CN219784247U
公开日
2023-10-03
申请人
无锡洁安洁通用设备有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体制造, 工业废气处理, 尾气净化, 环保治理, 洁净生产

摘要

本实用新型公开了一种半导体制程尾气处理用洗涤塔,包括洗涤塔主体、清洁件、水箱和喷头,所述洗涤塔主体的一侧设置有进气管,且所述洗涤塔主体内部的顶部设置有2组喷淋管,所述喷淋管的底端均匀分布有喷头,所述喷头下方的洗涤塔主体内均设置有填料,所述洗涤塔主体内部的底端设置有水箱,且所述水箱内部的中央位置处通过转轴设置有旋转座,所述洗涤塔主体的底部固定有旋转驱动机构,所述旋转座的两侧均匀通过缓冲套设置有清洁件。本实用新型通过安装有洗涤塔主体、水箱、旋转驱动机构、转轴、旋转座、缓冲套、清洁杆以及清洁件,利于对水箱的内壁进行刮洗,将附着的颗粒物杂质刮除,在清洁过程中清洁杆不容易弯折损坏。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN219784247U

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该专利的转让价格是多少?

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (B01D47_14)

议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:5 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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