实用新型 已授权

一种适用多种厚度的芯片抛光机

📄 申请号:CN202222070346.1 📄 发布日:2026/09/24

著录项目信息

申请日
2022-08-08
公开号
CN217860667U
公开日
2022-11-22
申请人
深圳市方达研磨技术有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体制造, 集成电路制造, 晶圆加工, 芯片抛光, 精密加工

摘要

本实用新型属于芯片生产设备领域,尤其是一种适用多种厚度的芯片抛光机,针对现有的不能对不同厚度的芯片进行抛光;抛光液需要反复涂抹在抛光布上,降低工作效率问题,现提出如下方案,其包括底板,所述底板的顶部固定连接有抛光盒,所述底板的顶部固定连接有固定板,所述固定板的一侧固定连接有保护箱,包括设置在保护箱内的升降机构,所述升降机构上固定连接有加固板,所述加固板的底部固定连接有固定箱,所述固定箱的一侧固定连接有用于存储抛光液的放置盒;还包括设置在固定箱内的用于芯片抛光的抛光机构,通过升降机构可以为不同厚度的芯片进行抛光,通过抛光机构可对芯片进行抛光,提高工作效率。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN217860667U

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该专利的转让价格是多少?

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (B24B29_02)

议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:4 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 已报项目

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