发明专利 已授权

一种基于层叠式亚波长光栅的高透射连续可调谐滤光片

📄 申请号:CN202310528860.1 📄 发布日:2026/09/20

著录项目信息

申请日
2023-05-11
公开号
CN116520470B
公开日
2026-04-03
申请人
杭州电子科技大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

光通信, 波分复用系统, 光谱检测, 高光谱成像, 激光调谐

摘要

本发明公开了一种基于层叠式亚波长光栅的高透射连续可调谐滤光片,包括依次层叠的基底层、中间层和周期性的光栅阵列。所述中间层的折射率为1.4~1.5。所述周期性光栅阵列包括多个周期性排列的直条形层叠式光栅,其线宽W范围150~180nm,周期P范围为160~400nm。所述层叠式光栅自下而上分别为底部Ag层、BK7层、MgF2层和顶部Ag层,MgF2层的厚度Hm与BK7层的厚度Hb满足Hm/Hb=0.55,底部Ag层和顶部Ag层的厚度相等。通过调节光栅阵列的周期P或厚度,可以使滤光片的调谐范围覆盖整个可见光波段的目标共振峰。同时,该滤波器的多种共振模式谐振,可以提高透射率。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (G02B5_20)

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