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发明专利
已授权
可识别纹理方向的粗糙度测量装置
📄 申请号:CN201911047074.X
📄 发布日:2026/08/27
著录项目信息
申请日
2019-10-30
公开号
CN111307075B
公开日
2022-03-25
申请人
桂林电子科技大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G01B11_30
IPC 分类号
G01B11_30
技术画像
所属领域
表面粗糙度测量
表面粗糙度测量
纹理方向识别
精密测量仪器
应用场景
机械加工质量检测, 表面工程, 工业自动化, 精密制造, 质量控制
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摘要
本发明提供的是一种可识别纹理方向的粗糙度测量装置,属于光学传感领域,具体涉及的是光学元件表面检测、精密加工等领域。可识别纹理方向的粗糙度测量装置是由激光器1、普通单模光纤2、1*N耦合器3(N为偶数)、光纤环形器4‑1至4‑N、扇入扇出器件5、多芯光纤6、聚焦物镜7、电荷耦合器件(CCD)8、计算机9、光功率计10‑1至10‑N组成。本发明可用于在线测量对表面粗糙度要求较高的待测平面,同时识别出该待测平面局部的纹理方向。一方面实现了入射光路以及收集光路的集成,简化了光路;另一方面所采用的多芯光纤末端进行了处理,具有一定锥角,使得入射光在经过光纤输出后形成微小的聚焦光斑,提高了装置的空间分辨率。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
基于环形芯光纤的高精度粗糙度测量装置
当前第 / 件
一种基于同轴双波导光纤的细胞分选微流芯片
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