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发明专利
已授权
基于环形芯光纤的高精度粗糙度测量装置
📄 申请号:CN201911047046.8
📄 发布日:2026/08/27
著录项目信息
申请日
2019-10-30
公开号
CN110986836A
公开日
2020-04-10
申请人
桂林电子科技大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G01B11_30
IPC 分类号
G01B11_30
技术画像
所属领域
光纤传感
光纤传感
特种光纤
表面粗糙度测量
应用场景
工业表面检测, 机械加工质量检测, 精密制造, 光学元件检测, 材料表面分析
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摘要
本发明提供的是基于环形芯光纤的高精度粗糙度测量装置包括激光器1、普通单模光纤2、光纤耦合器3、光功率计4-1、4-2、光纤环形器5、环形芯光纤6、聚焦物镜7、电荷耦合器件(CCD)8、计算机9。所述环形芯光纤6末端具有一定锥角,使得激光经环形芯光纤6传输后在光纤末端附近形成微小的聚焦光斑,实现高精度的表面粗糙度测量。本发明的优势一方面在于实现了入射光路与收集光路的集成,缩小了测量装置的尺寸;另一方面在于通过设计具有一定锥角的光纤末端结构,使得入射光汇聚成微小的聚焦光斑,提高了测量的空间分辨率。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种可同时完成多个锥体光纤端研磨的光纤研磨装置
当前第 / 件
可识别纹理方向的粗糙度测量装置
同领域国内专利 · IPC: (G01B11_30)
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