发明专利已授权

一种超光滑表面粗糙度测量系统

📄 申请号：CN202010276479.7 📄 发布日：2026/08/27

著录项目信息

申请日

2020-04-10

公开号

CN111609819B

公开日

2022-03-25

申请人

桂林电子科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_30

IPC 分类号

G01B11_30

技术画像

所属领域

精密测量精密测量光学检测表面形貌测量

应用场景

精密制造, 光学元件检测, 半导体晶圆检测, 质量检测, 科研实验

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摘要

本发明提供的是一种超光滑表面粗糙度测量系统。其特征是：它由激光光源1、单模光纤2、环形器3、双芯光纤4、高精度位移控制模块5、待测样品6、物镜7、电荷耦合器件(CCD)8、光电探测器9和计算机10组成。其中单模光纤2和双芯光纤4经过熔融拉锥(FBT)后可将光耦合进入双芯光纤4。双芯光纤4的末端端面镀有反射膜4‑1，反射膜4‑1将双芯光纤4其中一路光信号重新耦合至光纤中作为参考光；另一路光垂直入射在待测样品6表面发生镜面反射和漫反射。其中携带待测样品6表面粗糙度信息的镜面反射光将重新耦合进入光纤中作为信号光。参考光和信号光在FBT处发生干涉，干涉信号通过单模光纤2经环形器3输出至计算机10，得到待测样品6的表面粗糙度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种正交双轴非球面光纤微透镜

当前第 / 件

一种适用于光纤芯是任何形状与分布的光栅刻写技术

同领域国内专利 · IPC: (G01B11_30)

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