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发明专利
已授权
一种基于SAW的紫外光电探测器
📄 申请号:CN202210099617.8
📄 发布日:2026/08/26
著录项目信息
申请日
2022-01-27
公开号
CN114613802B
公开日
2024-04-19
申请人
南京邮电大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H10N39_00
IPC 分类号
H10N39_00
,
H01L31_112
,
技术画像
所属领域
光电探测器件
光电探测器件
声表面波技术
半导体光电子器件
应用场景
紫外通信, 火焰探测, 环境监测, 工业安全监控, 军事预警
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摘要
本发明提供一种基于SAW的紫外光电探测器,第一Al0.25Ga0.75N层顶端设有第一叉指换能器;第二Al0.25Ga0.75N层顶端设有第二叉指换能器;第三Al0.25Ga0.75N层上方设有二维电子气层,二维电子气层上方设有Al0.5Ga0.5N层,Al0.5Ga0.5N层上方设有p型掺杂GaN层;Al0.5Ga0.5N层一端连接漏极,漏极外接漏电压,Al0.5Ga0.5N层另一端连接源极,源极接地。本发明对光功率密度为0.2 mW/cm2的紫外光的光探测灵敏度高达7.37(ppmmw/cm2)‑1,增益高达9450 dB/mm,解决目前紫外光电探测器低光灵敏度、低增益的问题。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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当前第 / 件
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