本发明提供一种基于SAW的紫外光电探测器,第一Al0.25Ga0.75N层顶端设有第一叉指换能器;第二Al0.25Ga0.75N层顶端设有第二叉指换能器;第三Al0.25Ga0.75N层上方设有二维电子气层,二维电子气层上方设有Al0.5Ga0.5N层,Al0.5Ga0.5N层上方设有p型掺杂GaN层;Al0.5Ga0.5N层一端连接漏极,漏极外接漏电压,Al0.5Ga0.5N层另一端连接源极,源极接地。本发明对光功率密度为0.2 mW/cm2的紫外光的光探测灵敏度高达7.37(ppmmw/cm2)‑1,增益高达9450 dB/mm,解决目前紫外光电探测器低光灵敏度、低增益的问题。
📄 2022100996178
📂 H10N39_00
👤 南京邮电大学
📅 2022-01-27