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实用新型
已授权
一种改进动态面形的MEMS振镜
📄 申请号:CN202321914340.6
📄 发布日:2026/08/21
著录项目信息
申请日
2023-07-20
公开号
CN220289954U
公开日
2024-01-02
申请人
上海科恒特科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
G02B26_08
IPC 分类号
G02B26_08
,
B81B7_02
,
技术画像
所属领域
MEMS器件
MEMS器件
光学扫描
微机电系统
应用场景
激光雷达, 光学扫描, 投影显示, 光通信
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摘要
本实用新型公开了一种改进动态面形的MEMS振镜,包括多个呈围合状态的支架(1),支架(1)的底部设有磁铁(2),支架(1)上方设有固定板(4),固定板(4)内经转轴设有转动框架(5),转动框架(5)上经转轴设有微镜(6),微镜(6)的背面设有均匀分布的多边形槽(7),相邻多边形槽(7)之间具有脊线(8)相隔;本实用新型设置有多个磁铁,具备足够的驱动力,微镜背面具有多个多边形槽,在不影响结构强度的前提下实现减重,有效减少微镜增厚所带来的负面影响。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种可调式机器人底座
当前第 / 件
一种拉链包装袋加工用裁剪装置
同领域国内专利 · IPC: (G02B26_08)
G02B26_00
G02B26_02
G02B26_04
G02B26_06
G02B26_08
G02B26_10
G02B26_12
覆盖
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