实用新型 已授权

一种改进动态面形的MEMS振镜

📄 申请号:CN202321914340.6 📄 发布日:2026/08/21

著录项目信息

申请日
2023-07-20
公开号
CN220289954U
公开日
2024-01-02
申请人
上海科恒特科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

激光雷达, 光学扫描, 投影显示, 光通信

摘要

本实用新型公开了一种改进动态面形的MEMS振镜,包括多个呈围合状态的支架(1),支架(1)的底部设有磁铁(2),支架(1)上方设有固定板(4),固定板(4)内经转轴设有转动框架(5),转动框架(5)上经转轴设有微镜(6),微镜(6)的背面设有均匀分布的多边形槽(7),相邻多边形槽(7)之间具有脊线(8)相隔;本实用新型设置有多个磁铁,具备足够的驱动力,微镜背面具有多个多边形槽,在不影响结构强度的前提下实现减重,有效减少微镜增厚所带来的负面影响。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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议价
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