发明专利已授权

一种横向激发体声波谐振器

📄 申请号：CN202310168214.9 📄 发布日：2026/08/05

著录项目信息

申请日

2023-02-27

公开号

CN116248065B

公开日

2026-03-20

申请人

江南大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H03H9_02

IPC 分类号

H03H9_02 , H03H9_56 , H03H9_58 ,

技术画像

所属领域

体声波谐振器体声波谐振器射频器件微机电系统

应用场景

无线通信, 射频前端滤波器, 移动通信基站, 物联网设备, 频率控制器件

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摘要

本发明涉及一种横向激发体声波谐振器,其包括衬底以及设置于所述衬底上的第一压电层，所述第一压电层上连接有多个金属电极，相邻的所述金属电极之间设有第二压电层，所述第一压电层上设有多个凹槽，所述第二压电层位于所述凹槽内，所述第二压电层的表面与所述第一压电层的表面齐平，所述第二压电层的介电常数小于所述第一压电层的介电常数。本发明通过改变压电层的介电常数，扩大谐振器机电耦合系数的范围，从而提高器件性能，满足目前超宽带滤波器的需求。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种化工原料混合装置

当前第 / 件

一种关于轧辊表面的滚花车刀及处理方法

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