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一种柔性变角度阵列衍射光学微结构，所述微结构制作在柔性材料上，由N组一维二元衍射光学微结构首尾组成，所述柔性变角度阵列衍射光学微结构弯折并首尾相连形成履带式结构，所述弯折后的柔性变角度阵列衍射光学微结构作为一个整体的衍射光学器件，它包括前后两层，每一层包含(N/2)组一维二元衍射光学微结构；所述一维二元衍射光学微结构包括光栅结构和光学微结构，所述一维是指衍射光学微结构为一维图案、所述二元是指因衍射光学微结构深度所形成的光程差是二值化的。以及提供一种柔性变角度阵列衍射光学微结构的履带式运动方法。本发明全波段散斑抑制效果好、运动方式简单、易于实现、且系统通用性、鲁棒性好、成本低廉。

一种用于激光散斑抑制的柔性变角度阵列衍射光学器件，所述衍射光学器件制作在柔性材料上，由N组一维二元衍射光学结构首尾连接而成，所述一维二元衍射光学结构包括光栅结构和光学微结构，所述一维是指衍射光学结构为一维图案，所述二元是指因衍射光学结构深度所形成的光程差是二值化的。本发明提供一种全波段散斑抑制效果好、运动方式简单、易于实现、且系统通用性、鲁棒性好、成本低廉的用于激光散斑抑制的柔性变角度阵列衍射光学器件，采用柔性材料制作、通过变角度阵列衍射结构、构建可以无限匀速循环的履带式传动代替往复式机械运动实现红、绿、蓝全波段激光散斑抑制。