发明专利已授权

一种光悬浮抛光装置及其抛光方法

📄 申请号：CN202111217219.3 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2021-10-19

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B31_10

IPC 分类号

B24B31_10 , B24B31_12 , B24B41_06 ,

技术画像

所属领域

精密加工精密加工抛光设备光悬浮技术

应用场景

精密表面加工, 光学元件抛光, 半导体晶圆加工, 模具抛光, 航空航天零部件加工

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摘要

本发明公开了一种光悬浮抛光装置及其抛光方法，包括工控机、半导体激光发生器、反射棱镜、工作容器及工件装夹装置；所述半导体激光发生器与工控机电信号连接，所述反射棱镜设置在半导体激光发生器一侧，且反射棱镜位于工作容器的下方位置处，所述工件装夹装置设置在工作容器上方位置处，所述工作容器内部底面设置磨粒放置台，磨粒放置台上铺设磨粒。本发明的有益效果在于：通过设置的半导体激光发生器、反射棱镜、磨粒放置台及压电陶瓷，可实现对磨粒的有效控制，进而对工件表面进行非接触式抛光，且能够获得较好的表面质量。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种CuCoMn/Al2O3催化剂及其制备方法和应用

当前第 / 件

一种用于重组表达棘白菌素B脱酰基酶的重组基因序列

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：23 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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