发明专利 已授权

一种立式线性液动压抛光装置

📄 申请号:CN201911051549.2 📄 发布日:2026/08/04

著录项目信息

申请日
2019-10-31
公开号
CN111015496B
公开日
2024-05-07
申请人
浙江工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

精密加工, 表面处理, 机械制造, 光学元件抛光, 半导体晶圆抛光

摘要

一种立式线性液动压抛光装置,所述装置包括箱体、工作台面、地脚支撑、电机、电机带轮、主轴带轮、主轴系统、抛光盘和微进给模块;所述电机固定在箱体内,电机带轮通过键与电机轴相连接,并通过带传动将动力传输至主轴系统输入端;主轴系统固定在箱体的阶梯层中,抛光盘固定在主轴系统输出端;工作台连接在箱体上端;微进给模块固定在工作台下方。本发明提供了一种立式线性液动压抛光装置,能在工件表面产生线性均匀动压力场,提升工件各部位抛光效果,设计了微进给模块,能以微米级调节抛光间隙,提升工件抛光效率。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:22 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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