发明专利已授权

一种激光辅助抛光方法及装置

📄 申请号：CN202111003268.7 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2021-08-30

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B31_10

IPC 分类号

B24B31_10 , B24B31_12 , B24B57_02 ,

技术画像

所属领域

激光加工技术激光加工技术表面处理技术精密加工技术

应用场景

精密制造, 光学元件加工, 模具制造, 半导体制造, 医疗器械表面处理

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摘要

一种激光辅助抛光方法，包括以下步骤：(1)向被抛光面供给含有抛光颗粒的抛光液，抛光液通过设置在被抛光面前侧的透明导流板整流，使得抛光液以与被抛光面平行的方向快速流动形成抛光液流层；(2)将脉冲激光器对准被抛光面，脉冲激光器输出的脉冲激光束经过聚焦后入射到透明导流板上，并在透明导流板的后表面形成一个聚焦光斑，脉冲激光束的激光脉冲能量作用于透明导流板后侧的抛光液流层中，实现定点抛光。本发明还提供一种激光辅助抛光装置。本发明可实现被抛光件的定点抛光，定点范围可根据激光光斑的调整及被抛光面或激光光斑的移动进行控制。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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