实用新型已授权

集成并列式驱动线圈的电磁式MOEMS扫描光栅微镜

📄 申请号：CN202020640027.8 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2020-04-24

公开号

CN211979328U

公开日

2020-11-20

申请人

西南大学

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G02B26_10

IPC 分类号

G02B26_10 , G02B27_44 ,

技术画像

所属领域

微光机电系统微光机电系统光栅微镜电磁驱动

应用场景

激光显示, 激光雷达, 光通信, 光学扫描, 微型投影仪

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摘要

本实用新型涉及一种集成并列式驱动线圈的电磁式MOEMS扫描光栅微镜，属于光谱分析技术领域，包括固定边框、垂直连接在固定边框内侧的两个对称的扭转梁，以及与扭转梁连接的偏晶向硅基微镜板；所述偏晶向硅基微镜板的正面刻蚀有闪耀光栅，偏晶向硅基微镜板的背面集成有驱动线圈和角度传感线圈；所述驱动线圈为非封闭矩形单回路，且在供力方向上以扭转梁为中心轴线对称、平行、等间距地条纹状分布，所述角度传感线圈以矩形渐开线形式由里向外分布。通过采用并列式驱动线圈，保障扫描光栅微镜的谐振工作，有效降低功耗、工艺加工难度和制造成本。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种利用轨道结构温度差的热电发电装置

当前第 / 件

用于柑橘类水果加工的磨油机

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