本实用新型涉及一种集成并列式驱动线圈的电磁式MOEMS扫描光栅微镜,属于光谱分析技术领域,包括固定边框、垂直连接在固定边框内侧的两个对称的扭转梁,以及与扭转梁连接的偏晶向硅基微镜板;所述偏晶向硅基微镜板的正面刻蚀有闪耀光栅,偏晶向硅基微镜板的背面集成有驱动线圈和角度传感线圈;所述驱动线圈为非封闭矩形单回路,且在供力方向上以扭转梁为中心轴线对称、平行、等间距地条纹状分布,所述角度传感线圈以矩形渐开线形式由里向外分布。通过采用并列式驱动线圈,保障扫描光栅微镜的谐振工作,有效降低功耗、工艺加工难度和制造成本。
📄 2020206400278
📂 G02B26_10
👤 西南大学
📅 2020-04-24