发明专利已授权

自准直仪

📄 申请号：CN201911303271.3 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2019-12-17

公开号

CN110940298B

公开日

2021-07-27

申请人

重庆理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_26

IPC 分类号

G01B11_26

技术画像

所属领域

光学测量仪器光学测量仪器光电检测技术精密计量

应用场景

精密机械加工, 工业自动化, 计量校准, 航空航天, 半导体制造

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摘要

本发明涉及一种自准直仪，包括光源、分束镜、准直透镜以及CCD，还包括双劈尖机构，光源发出的光束依次穿过分束镜、准直透镜和双劈尖机构，双劈尖机构包括沿光束间隔设置的两单体楔形劈尖，穿过双劈尖机构后的光束形成为测试入射光路；两单体楔形劈尖可独立转动以使测试入射光路以法线入射的形式入射到待测面，待测面的反射光路沿测试入射光路返回，穿过劈尖和透镜，经分束镜反射后在CCD上形成光斑；待测面偏移量通过两单体楔形劈尖的转动量获取。测量时，光束工作于法线入射模式，双劈尖机构不引入像差，光束均沿光轴工作，各光学元件引入误差相同，测量精度不受距离限制；克服了传统仪器因测量距离、角度增大引入各光学元件角度测量误差的问题。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

长程光学表面面形检测装置及检测方法

当前第 / 件

一种氨氮废水处理装置

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