发明专利已授权

长程光学表面面形检测装置及检测方法

📄 申请号：CN201911303272.8 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2019-12-17

公开号

CN110926367A

公开日

2020-03-27

申请人

重庆理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_24

IPC 分类号

G01B11_24

技术画像

所属领域

检测装置光学检测表面形貌测量精密测量检测装置

应用场景

光学元件加工, 精密制造, 半导体检测, 科研实验, 工业质检

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摘要

本发明涉及一种长程光学表面面形检测装置及检测方法，面形检测装置包括检测光路和用于形成测量光斑的f-θ角度检测系统，检测光路中，直接入射到待测光学器件表面的入射光路上设有双劈尖机构，双劈尖机构包括沿所述入射光路间隔设置的两个单体楔形劈尖，入射光路穿过两个单体楔形劈尖，两个单体楔形劈尖可独立转动以通过转动改变其出射光路的角度并使出射光路以法线入射的形式入射到待测光学器件表面。本发明通过转动劈尖使反射光路沿入射光路原路返回并可结合测量光斑进行判断，待测光学器件的表面面形通过劈尖转动量来获取，光路在各光学元件上的作用位置一致，使传统系统中因横移量引入的各光学元件的角度误差均可完全避免，提高检测精度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种按压式编带电容收纳装置

当前第 / 件

自准直仪

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