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本发明涉及芯片自动化检测技术领域,且公开了一种芯片自动化检测系统及方法,包括:记芯片内部的气泡在x光照射下所形成的图形为投影图形;对投影图形执行圆域规划策略,得到投影图形所在的圆,记为执行圆;获取执行矩形中所有的投影图形对应的执行圆,组成执行圆集;执行预划分策略,得到多个执行单元;针对任意一个执行单元;获取执行单元中执行圆的数量,记为第一侧面数量;当第一侧面数量>0,执行立体检测策略,得到执行截面上执行圆的体积;根据阈值比例,执行合格判定策略,判断芯片是否合格。通过用x光照射芯片的三个侧面,估算芯片内部的气泡数量,计算气泡空隙率判断芯片是否合格,简化检测步骤,提高检测的效率。
📄 2024117771039 📂 G01N23_04 👤 如东汇盛通半导体科技有限公司 📅 2024-12-05
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发明 已授权

一种芯片自动化检测系统及方法

2024117771039 · 如东汇盛通半导体科技有限公司
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🔋 高能量密度固态电解质材料与制备工艺
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SiC功率器件工艺专利

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钙钛矿光伏组件技术

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