发明专利已授权

一种合金表面快速响应薄膜热电偶及其制备方法

📄 申请号：CN202210588653.0 📄 发布日：2026/07/29

著录项目信息

申请日

2022-05-26

公开号

CN114993496B

公开日

2024-10-22

申请人

安徽工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01K7_02

IPC 分类号

G01K7_02

技术画像

所属领域

温度传感器温度传感器薄膜热电偶薄膜制备技术

应用场景

工业测温, 航空发动机温度监测, 汽车发动机测试, 高温部件表面测温, 过程控制

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摘要

本发明涉及温度传感器技术领域，具体涉及一种合金表面快速响应薄膜热电偶制备方法。该薄膜热电偶由下到上依次包括合金基片、AlCrN基薄膜、热氧化绝缘膜、NiCr/NiSi传感功能薄膜、氧化铝保护膜，所述的热氧化膜通过热氧化法在高结合力AlCrN基薄膜表面原位自主生成，主要组分由氧化铝和氧化铬组分构成，本发明采用气相沉积技术制备的薄膜热电偶，各层薄膜组织致密，传感功能薄膜与金属工件之间完全电绝缘，塞贝克系数接近标准K型热电偶，具有快速响应和高可靠性等特点，满足金属工件在苛刻服役环境下的动态测温需求。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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