发明专利已授权

一种基于LTCC天线的等离子体密度测量传感器

📄 申请号：CN201910437924.0 📄 发布日：2026/07/28

著录项目信息

申请日

2019-05-24

公开号

CN110167245B

公开日

2021-07-20

申请人

南京邮电大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H05H1_00

IPC 分类号

H05H1_00 , H01Q1_52 , H01Q1_50 , H01Q1_48 , H01Q1_38 , H01Q1_22 ,

技术画像

所属领域

天线微波检测技术低温共烧陶瓷器件等离子体诊断技术传感器密度测量天线

应用场景

半导体制造, 等离子体刻蚀, 薄膜沉积, 等离子体加工, 航天电推进

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摘要

本发明公开了一种基于LTCC天线的等离子体密度传感器，其结构总共分为三层，包括上下两层LTCC介质层，以及在LTCC介质板表面镶嵌金属铜贴片、接地板、金属通孔的中间层。中间层可以分为三部分，其中在介质LTCC的上表面有馈电结构、金属贴片，下表面有接地板、金属贴片，上下表面通过金属通孔连通。将天线放置在一个球形的等离子体内部，当等离子体的密度发生变化时，该天线的谐振频率发生规律的变化，通过该天线装置进行测量等离子体的密度。通过选择适当大小的介质板、金属贴片和馈电结构，以及它们的位置，可以在一定范围内让天线的谐振频率随等离子体密度发生有规律的变化，从而完成对等离子体密度的测量。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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