发明专利已授权

火棉胶薄膜的图形化方法

📄 申请号：CN201310080874.8 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2013-03-14

公开号

CN103193200A

公开日

2013-07-10

申请人

西安工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B81C99_00

IPC 分类号

B81C99_00 , G03F7_20 ,

技术画像

所属领域

高分子薄膜高分子薄膜微纳图形化薄膜加工工艺

应用场景

微电子器件, 光学器件, 生物传感器, 微流控芯片, 过滤薄膜

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摘要

本发明公开了一种镀制在衬底上的火棉胶薄膜的图形化方法。该方法包括如下步骤：利用薄膜沉积方法在火棉胶薄膜上沉积一种容易腐蚀的掩模层；利用微加工技术中的光刻、显影、腐蚀等方法把该掩模层进行处理，获得所需要火棉胶薄膜图形的掩模层图形；利用丙酮去除暴露出来的火棉胶薄膜，再利用掩模层材料腐蚀液腐蚀掉表面的掩模层，最终获得火棉胶薄膜所需要的微小图形。该方法能够精细地制作出火棉胶薄膜的微纳图形，而且具有所用材料成本低，方法简单，操作方便等优点，解决了目前火棉胶薄膜的图形化难题。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20160413

✅ 授权

20130807

?? 实质审查的生效：

20130710

📄 公开

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