发明专利已授权

纳米级非接触光纤传感器测量用调整装置及方法

📄 申请号：CN201710448589.5 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2017-06-14

公开号

CN107357317B

公开日

2020-06-09

申请人

陕西科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G05D3_12

IPC 分类号

G05D3_12 , G01B11_16 , G01M5_00 ,

技术画像

所属领域

光纤传感技术光纤传感技术精密测量技术微纳定位技术

应用场景

精密制造, 半导体检测, 表面质量检测, 工业自动化

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摘要

本发明公开了一种纳米级非接触光纤传感器测量用调整装置及方法，包括调整螺母，调整螺母下部穿插设有光纤传感器，上部穿插设有固定杆，且光纤传感器通过固定杆下方的孔安装在固定杆中，固定杆的上部套设有固定螺杆，且固定螺杆的下部外侧与调整螺母的上部内侧通过螺纹连接。本发明可以在较小的实验空间内对纳米级光纤传感器进行测量前保证量程的预安装以及实验测量时精确调整，使得纳米级光纤位移传感器达到最佳分辨率所在的量程范围。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20200609

✅ 授权

20171212

?? 实质审查的生效：

20171117

📄 公开

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当前第 / 件

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