发明专利已授权

角度补偿式激光外差干涉位移测量装置及方法

📄 申请号：CN201710551481.9 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2017-07-07

公开号

CN107255451B

公开日

2023-07-18

申请人

浙江理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_02

IPC 分类号

G01B11_02 , G01B11_26 , G01B9_02061 , G01B9_02056 ,

技术画像

所属领域

激光外差干涉激光干涉测量外差干涉技术位移测量技术位移测量装置激光外差干涉

应用场景

工业精密测量, 半导体制造, 数控机床校准, 计量检定, 科研实验

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摘要

本发明公开了一种角度补偿式激光外差干涉位移测量装置及方法。本发明采用镀有半透半反膜的角锥棱镜作为位移和转角测量的测量镜，由激光外差干涉光路产生的干涉信号经光电探测器探测，数据采集处理得到位移测量初值；激光光斑检测转角测量光路产生的激光光斑位置信号，经数据采集处理得到被测对象的俯仰角误差值和偏摆角误差值，进而可得到位移补偿所需转角值；利用转角值对位移初值进行补偿，得到最终的位移测量值。本发明解决了传统激光干涉位移测量技术中角锥棱镜存在转角误差影响位移测量精度的技术问题，实现了高精度的位移测量，并可实现对被测对象偏摆角、俯仰角和线性位移三个自由度的同时检测。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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